ITC系列薄膜沉积控制仪是一种基于石英晶体微天平(QCM)原理的薄膜可编程沉积控制器。拥有2/5/10个独立控制的、高分辨率的输入通道，能够满足不同规模的沉积系统的要求。可选的多种I/O、A/D、D/A和TC（热电偶）的定制端口，可组合成不同应用功能的控制仪。ITC具备独立的PID控制功能，再搭配多个可选的输入/输出电路板，是能够满足大型沉积设备需求的理想远程控制设备。
在共沉积模式时，ITC可以独立监测多达2/5/10个蒸发源的速率。在以PID模式控制时，可支持2/4种材料的共沉积，此已满足大多数薄膜沉积的要求。另外，独立的温度输入通道 (通常为4通道)可应用在MOCVD等工业温度控制的沉积过程中；可寻址的通信协议可以通过计算机与多个ITC单元进行通信。
我司的ITC系列薄膜沉积控制仪，具有专利技术支持（专利号: PCT/CN2018/083384），来保证高速精确的膜厚和速率测量，是OLED、QLED、OPV、钙钛矿LED、生物制药、医疗健康和环境监测等各个工业制造和学术研究领域的最佳选择。

ITC-2/5/10-D
通道参数 测量通道数 2/5/10
共沉积材料数量 2/4
晶振频率识别范围 0.5 – 15 MHz
测量精度 频率测量精度 ±0.001 Hz
膜厚测量精度 ±0.01 Å
速率测量精度 ±0.001 Å/s
输入输出 模拟输入/输出 8 AD, 8 DA, 4 TC，0-10V，可拓展至16/16/8
数字输入/输出 16/16路继电器，可拓展至32/32
温度测量输入端口 4路；温度测量精度 0.1℃
热电偶类型: B,E,J,K,N,R,S,T型 和CJ 补偿型，可拓展至8路
通讯 通讯接口类型 RS485、RS232、以太网口
窗口软件 ITC软件
存储能力 处理层 8*32层，99种材料
人机交互 触控屏 7寸全彩高清
其他 供电电源 88 – 264 VAC, 25 W
机箱尺寸（长x宽x深） 482mm*133mm*250mm（19英寸标准机箱）
可选项 ITC振荡器，石英晶振，射频信号线

产品参数

高精度：
◆ 频率测量精度：±0.001Hz
◆ 速率测量精度：±0.001Å/s
◆ 膜厚测量精度：±0.01Å


支持晶振：    
◆ 兼容单、双及旋转多探头，识别晶振故障并排除，自动切换晶振
◆ 独有间歇模式，增加晶振寿命


支持蒸发源：
◆ 固定的、继电器切换的蒸发源，支持电子束蒸发及坩埚切换
◆ 带或不带热电偶的蒸发源

支持端口：
◆ 多个I/O、A/D、D/A、TC端口，可控制蒸发源、晶振和主挡板


沉积模式：
◆ PID温度、PID速率及串联控制功能，PID参数优化功能
◆ 可编辑功率和温度梯度预热及降温功能
◆ 逐层沉积、多源共蒸等自动化功能


增值功能：
◆ 可自定义按键功能
◆ 仿真模拟功能，便于上位机开发
◆ PC客户端、数据处理、本地工艺参数保存和互锁设置

产品特点

ITC软件是由我司团队开发的一款用于监控ITC系列薄膜沉积控制仪的沉积过程的应用软件，支持WIN7/10多个系统。
软件1:1复制设备操作界面，工程师可远程进行参数设置、将设置下发至设备端，以及控制沉积过程。此外，ITC软件还具备工艺参数导入/导出功能，以及工艺参数实时记录并导出保存功能。

ITC-5
 

ITC-2/5/10-D
 

ITC-10
 

PC客户端

ITC系列 薄膜沉积控制仪 

产品简介